Рау Эдуард Иванович

Профессор кафедры физической электроники МГУ; родился 3 декабря 1941 г.; окончил Физический факультет МГУ, 1967 г.; кандидат физико-математических наук, 1975 г.; Доктор физико-математических наук, 1993 г.; Профессор, 1995 г.; Научные интересы: Микротомография электронных микро- и наноструктур, Диагностика полупроводниковых микроструктур в сканирующей электронной микроскопии; Участие в советах: член научного совета РАН по электронной микроскопии, член научного совета РАН по неразрушающим методам диагностики микроструктур, член докторского диссертационного совета Д 501.001.66 при МГУ, член докторского диссертационного совета Д.002.081.01 при Институте проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН; Автор более 250 статей в научных журналах, имеет 26 авторских свидетельств на изобретения. Подготовил 14 кандидатов наук.