Академик РАН (2006); директор Физико-технологического института РАН, г. Москва; родился 12 июня 1938 г. в Москве; специалист в области технологии и физики приборов микро- и наноэлектроники; член Бюро Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН; заместитель главного редактора журнала "Микроэлектроника"; награжден орденом Дружбы (2009).